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[交流]
磁控溅射镀膜时旋转基片台实时测温装置如何安装？ 已有1人参与
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用反应磁控溅射镀TiO2薄膜时，基片台是旋转的，如果想测试实时的基片温度应该怎么办？ 文献中说用K型热电偶，怎样才能在旋转的基片台上使用呢？ 因为反应溅射温升比较大，所以希望能够实时测试。。。。请高手解答！！ |
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 反应磁控溅射 |
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3楼2011-04-19 22:25:54