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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 精细化工 » 【求助】除去硅表面的二氧化硅
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zhangzhen515

新虫 (正式写手)

[交流] 【求助】除去硅表面的二氧化硅

求教各位大侠，选择什么除去硅表面的二氧化硅，HF和NaOH都可以除去二氧化硅，但是也会腐蚀硅，求童鞋支招！！
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1楼 2011-03-03 10:22:05
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

329734268

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
201703楼: Originally posted by zwj0420 at 2011-03-04 14:30:06
单晶硅用氢氟酸刻蚀，你控制浓度和时间啦，这个就是生产太阳能电池片的刻蚀工序。

这位仁兄，我也是做太阳能电池片的，我用氢氟酸刻蚀完二氧化硅后，眼看着是银灰色的硅的颜色，可是放在放大镜下看，大概放大了7倍左右，看的却是黄色的，上面还有很多小亮点，不知道是怎么回事，还望大师指导啊~~
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13楼2013-03-26 11:52:20
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普通回帖

xiaowenp

铁虫 (小有名气)
★ ★
zhangzhen515(金币+1):谢谢参与
blueboy(金币+1): 鼓励应助 2011-03-04 10:30:06
用HF酸，由于SiO2在表面，所以首先除去的是SiO2，当然也不可避免有少部分硅会腐蚀。但是该方法还是效果比较好的
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2楼2011-03-03 11:27:42
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zwj0420

铜虫 (初入文坛)
★ ★
zhangzhen515(金币+1):谢谢参与
大蓝猫5558(金币+1): 谢谢参与！ 2011-03-04 16:43:46
单晶硅用氢氟酸刻蚀，你控制浓度和时间啦，这个就是生产太阳能电池片的刻蚀工序。
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3楼2011-03-04 14:30:06
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liang8887

至尊木虫 (文坛精英)
★
zhangzhen515(金币+1):谢谢参与
控制量
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4楼2011-03-04 14:38:40
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LL868890

木虫 (著名写手)
★
zhangzhen515(金币+1):谢谢参与
我来学习的
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5楼2011-03-04 14:41:09
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东方龙

金虫 (正式写手)
★
zhangzhen515(金币+1):谢谢参与
硅和氢氧化钠反映困难，可以用氢氧化钠
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6楼2011-03-04 14:42:19
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shenjerry

至尊木虫 (职业作家)
★
zhangzhen515(金币+1):谢谢参与
zhangzhen515(金币+1): 2011-03-06 17:18:18
zhangzhen515(金币+2): 多谢了哈~ 2011-03-06 17:19:52
有试过超声波吗？
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7楼2011-03-04 15:37:34
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tangbohejin

木虫之王 (文学泰斗)
★
zhangzhen515(金币+1):谢谢参与
用氢氧化钠最好---
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8楼2011-03-04 17:16:08
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tangbohejin

木虫之王 (文学泰斗)
用氢氧化钠最好---
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9楼2011-03-04 17:20:57
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zwj0420

铜虫 (初入文坛)
说一下HF和si不反应的，但是NaoH和si反应的，
Si+2NaOH+H2O→Na2SiO3 +2H2
在制绒工序HF，CrO3的主要作用是起氧化，HF的作用是去除氧化层，二者结
合在一块使得硅片不断的剥离反应。单独一样化学药品是不与硅反应的。
总的反应式为：3Si+2H2Cr2O7+18HF=3H2SiF6+2Cr2O3+8H2O
也就是说单独的si和HF不反应的，你要用NaOH也可以，但是浓度要低，用超声波清洗，sio2主要在硅片的表层，这样就一起去除了。
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10楼2011-03-05 10:47:45
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zhangzhen515

新虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by shenjerry at 2011-03-04 15:37:34:
有试过超声波吗？

没有试过，实验室没有装备....
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11楼2011-03-06 17:18:48
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wwwplay

金虫 (小有名气)
可以考虑用元硅酸钠试试
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12楼2011-03-08 13:37:51
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lianglei042714楼
2015-03-26 10:57   回复  
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