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zhangzhen515

新虫 (正式写手)

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[交流] 【求助】除去硅表面的二氧化硅

求教各位大侠，选择什么除去硅表面的二氧化硅，HF和NaOH都可以除去二氧化硅，但是也会腐蚀硅，求童鞋支招！！

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1楼 2011-03-03 10:22:05

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zhangzhen515

新虫 (正式写手)

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引用回帖:

Originally posted by shenjerry at 2011-03-04 15:37:34:
有试过超声波吗？

没有试过，实验室没有装备....

11楼2011-03-06 17:18:48

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xiaowenp

铁虫 (小有名气)

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★ ★
zhangzhen515(金币+1):谢谢参与
blueboy(金币+1): 鼓励应助 2011-03-04 10:30:06

用HF酸，由于SiO2在表面，所以首先除去的是SiO2，当然也不可避免有少部分硅会腐蚀。但是该方法还是效果比较好的

赞一下(2人)

2楼2011-03-03 11:27:42

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zwj0420

铜虫 (初入文坛)

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★ ★
zhangzhen515(金币+1):谢谢参与
大蓝猫5558(金币+1): 谢谢参与！ 2011-03-04 16:43:46

单晶硅用氢氟酸刻蚀，你控制浓度和时间啦，这个就是生产太阳能电池片的刻蚀工序。

赞一下(3人)

3楼2011-03-04 14:30:06

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东方龙

金虫 (正式写手)

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★
zhangzhen515(金币+1):谢谢参与

硅和氢氧化钠反映困难，可以用氢氧化钠

赞一下(1人)

6楼2011-03-04 14:42:19

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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