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zhangzhen515

新虫 (正式写手)

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[交流] 【求助】除去硅表面的二氧化硅

求教各位大侠，选择什么除去硅表面的二氧化硅，HF和NaOH都可以除去二氧化硅，但是也会腐蚀硅，求童鞋支招！！

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1楼 2011-03-03 10:22:05

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zwj0420

铜虫 (初入文坛)

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说一下HF和si不反应的，但是NaoH和si反应的，
Si+2NaOH+H2O→Na2SiO3 +2H2
在制绒工序HF，CrO3的主要作用是起氧化，HF的作用是去除氧化层，二者结
合在一块使得硅片不断的剥离反应。单独一样化学药品是不与硅反应的。
总的反应式为：3Si+2H2Cr2O7+18HF=3H2SiF6+2Cr2O3+8H2O
也就是说单独的si和HF不反应的，你要用NaOH也可以，但是浓度要低，用超声波清洗，sio2主要在硅片的表层，这样就一起去除了。