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qwcmos实习版主
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[交流]
【求助】磁控溅射Mg靶变黑，这是为什么？ 已有2人参与
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| 最近实验结束后总是发现Mg靶变黑，不仅是中间和两边，就连溅射区域也是黑的，就像碳粉一样附着在表面，本底真空为7*10-4, 工作气压0.5Pa，溅射功率是30W。 |
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送红花一朵 
4楼2018-09-21 19:10:51
张陈陈张
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2楼2013-09-29 09:07:01
确实可以进行Mg靶的溅射吗？3楼2018-09-21 19:10:13
