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【求助】磁控溅射Mg靶变黑，这是为什么？ 已有2人参与
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| 最近实验结束后总是发现Mg靶变黑，不仅是中间和两边，就连溅射区域也是黑的，就像碳粉一样附着在表面，本底真空为7*10-4, 工作气压0.5Pa，溅射功率是30W。 |
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