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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】磁控溅射Mg靶变黑，这是为什么？
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射Mg靶变黑，这是为什么？ 已有2人参与

最近实验结束后总是发现Mg靶变黑，不仅是中间和两边，就连溅射区域也是黑的，就像碳粉一样附着在表面，本底真空为7*10-4, 工作气压0.5Pa，溅射功率是30W。
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1楼 2010-12-01 18:43:05
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张陈陈张

铜虫 (小有名气)
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不知道13年了楼主有没有解决这个问题啊~~我也同样遇到这个问题1很想请教下
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知夏爱夏天 知夏爱夏天
2楼2013-09-29 09:07:01
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知夏爱夏天

金虫 (小有名气)
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2楼: Originally posted by 张陈陈张 at 2013-09-29 09:07:01
不知道13年了楼主有没有解决这个问题啊~~我也同样遇到这个问题1很想请教下

请问现在这个问题解决了吗？ 确实可以进行Mg靶的溅射吗？

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3楼2018-09-21 19:10:13
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知夏爱夏天

金虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 张陈陈张 at 2013-09-29 09:07:01
不知道13年了楼主有没有解决这个问题啊~~我也同样遇到这个问题1很想请教下

另外，溅射出来的薄膜应该不是纯Mg吧

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4楼2018-09-21 19:10:51
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