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【求助】磁控溅射Mg靶变黑,这是为什么? 已有2人参与
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| 最近实验结束后总是发现Mg靶变黑,不仅是中间和两边,就连溅射区域也是黑的,就像碳粉一样附着在表面,本底真空为7*10-4, 工作气压0.5Pa,溅射功率是30W。 |
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知夏爱夏天
确实可以进行Mg靶的溅射吗?