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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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lxp836

木虫 (小有名气)


[交流] 【求助】磁控溅射速率和阴极罩间距的关系

磁控溅射时,阴极罩间距对溅射速率有何影响?
在同样的励磁和恒流下,间距减小(增大)对溅射速率的影响是增大还是减小?
希望有经验的人说下
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255255

木虫 (正式写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
个人经验,阴极罩距离越小,越容易溅射,但是跟溅射速率应该没有关系,在功率足够高的情况下板压应该是随着阴极罩的距离有变化的,
2楼2010-11-24 11:57:08
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