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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】磁控溅射速率和阴极罩间距的关系
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lxp836

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射速率和阴极罩间距的关系

磁控溅射时，阴极罩间距对溅射速率有何影响？
在同样的励磁和恒流下，间距减小（增大）对溅射速率的影响是增大还是减小？
希望有经验的人说下
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1楼 2010-11-22 13:11:58
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255255

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
个人经验，阴极罩距离越小，越容易溅射，但是跟溅射速率应该没有关系，在功率足够高的情况下板压应该是随着阴极罩的距离有变化的，
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2楼2010-11-24 11:57:08
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