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Atma

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】超声能导致氧化硅绝缘层漏电吗? 已有8人参与

300nm厚的SiO2层,从国外买的,质量还行
但最近测I-V时,经常漏电
不知道有没有可能是超声清洗时导致的,因为我们的超声功率很大,声音非常响
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Atma

木虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by huang1987 at 2010-05-20 12:20:12:
不会,超声只是打碎2次粒子。1次粒子是绝对不会的

谢谢,啥叫2次粒子,1次粒子?
3楼2010-05-20 14:57:08
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huang1987

木虫 (著名写手)

金属有机之烂漫小猪


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
不会,超声只是打碎2次粒子。1次粒子是绝对不会的
有爱才有希望!
2楼2010-05-20 12:20:12
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jiangweijw

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by Atma at 2010-05-20 11:11:03:
300nm厚的SiO2层,从国外买的,质量还行
但最近测I-V时,经常漏电
不知道有没有可能是超声清洗时导致的,因为我们的超声功率很大,声音非常响

测量I-V时,什么情况是漏电?
4楼2010-05-26 15:10:18
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Atma

木虫 (小有名气)

看栅漏电流,一般应该在10 的-12次方量级
5楼2010-05-26 17:35:25
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