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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【请教】超声能导致氧化硅绝缘层漏电吗？
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Atma

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】超声能导致氧化硅绝缘层漏电吗？ 已有8人参与

300nm厚的SiO2层，从国外买的，质量还行
但最近测I-V时，经常漏电
不知道有没有可能是超声清洗时导致的，因为我们的超声功率很大，声音非常响
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1楼 2010-05-20 11:11:03
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huang1987

木虫 (著名写手)

金属有机之烂漫小猪
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
不会，超声只是打碎2次粒子。1次粒子是绝对不会的
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有爱才有希望！
2楼2010-05-20 12:20:12
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Atma

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by huang1987 at 2010-05-20 12:20:12:
不会，超声只是打碎2次粒子。1次粒子是绝对不会的

谢谢，啥叫2次粒子，1次粒子？
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3楼2010-05-20 14:57:08
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jiangweijw

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by Atma at 2010-05-20 11:11:03:
300nm厚的SiO2层，从国外买的，质量还行
但最近测I-V时，经常漏电
不知道有没有可能是超声清洗时导致的，因为我们的超声功率很大，声音非常响

测量I-V时，什么情况是漏电？
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4楼2010-05-26 15:10:18
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Atma

木虫 (小有名气)
看栅漏电流，一般应该在10 的-12次方量级
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5楼2010-05-26 17:35:25
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qmmao2000

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
以前也见到过类似的情况，应该是氧化层不均匀吧
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6楼2010-05-27 09:39:35
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这还叫漏电？
正常范围



测量I-V时，什么情况是漏电？ [/quote]
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7楼2010-05-28 16:26:57
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gaolianglike

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问楼主最终如何解决漏电问题的
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8楼2015-04-01 20:53:09
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metaliium

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
超声不可能。。。

可能是接线的时候漏的。比方说wire bonder机子不好或针太尖确实可能打穿300nm SiO2，或者焊的时候也可能破坏绝缘层。。。

你如果不是非要用300nm 绝缘层的话，比方说做单层石墨烯，就换绝缘层厚点的硅片呗。。。
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9楼2015-04-02 02:26:58
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liqingyan216

新虫 (初入文坛)
老铁问题解决了吗？

发自小木虫Android客户端
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10楼2018-12-20 20:35:30
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