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Atma

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】超声能导致氧化硅绝缘层漏电吗? 已有8人参与

300nm厚的SiO2层,从国外买的,质量还行
但最近测I-V时,经常漏电
不知道有没有可能是超声清洗时导致的,因为我们的超声功率很大,声音非常响
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huang1987

木虫 (著名写手)

金属有机之烂漫小猪


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
不会,超声只是打碎2次粒子。1次粒子是绝对不会的
有爱才有希望!
2楼2010-05-20 12:20:12
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Atma

木虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by huang1987 at 2010-05-20 12:20:12:
不会,超声只是打碎2次粒子。1次粒子是绝对不会的

谢谢,啥叫2次粒子,1次粒子?
3楼2010-05-20 14:57:08
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jiangweijw

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by Atma at 2010-05-20 11:11:03:
300nm厚的SiO2层,从国外买的,质量还行
但最近测I-V时,经常漏电
不知道有没有可能是超声清洗时导致的,因为我们的超声功率很大,声音非常响

测量I-V时,什么情况是漏电?
4楼2010-05-26 15:10:18
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Atma

木虫 (小有名气)

看栅漏电流,一般应该在10 的-12次方量级
5楼2010-05-26 17:35:25
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qmmao2000


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
以前也见到过类似的情况,应该是氧化层不均匀吧
6楼2010-05-27 09:39:35
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这还叫漏电?
正常范围



测量I-V时,什么情况是漏电? [/quote]
7楼2010-05-28 16:26:57
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gaolianglike

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问楼主最终如何解决漏电问题的
8楼2015-04-01 20:53:09
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metaliium

银虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
超声不可能。。。

可能是接线的时候漏的。比方说wire bonder机子不好或针太尖确实可能打穿300nm SiO2,或者焊的时候也可能破坏绝缘层。。。

你如果不是非要用300nm 绝缘层的话,比方说做单层石墨烯,就换绝缘层厚点的硅片呗。。。
9楼2015-04-02 02:26:58
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liqingyan216

新虫 (初入文坛)

10楼2018-12-20 20:35:30
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