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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【求助】5nm左右的氧化铝薄膜怎么测厚度？
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wsm3000

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】5nm左右的氧化铝薄膜怎么测厚度？ 已有11人参与

在玻璃或者硅片上先蒸50nm的铝薄膜，再在上面做一层5nm左右的氧化铝。
请问：5nm怎么测检测其厚度更准确 一些？
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1楼 2010-05-04 18:58:53
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lovechem

木虫 (著名写手)
wsm3000(金币+1): 2010-05-04 20:30:44
AFM or？如果可以部分暴露Al基地的话
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2楼2010-05-04 19:10:50
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yznian

至尊木虫 (著名写手)
wsm3000(金币+1): 2010-05-04 20:30:14
最好的方法是将试样进行线切割 然后用高分辨SEM或者HRTEM即可，钱多用AFM也行，观察切割的截面
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3楼2010-05-04 19:22:29
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mudannanzi

木虫 (正式写手)
wsm3000(金币+1): 2010-05-04 20:30:37
做电镜吧，其他的设备没这么高的分辨率
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迷糊
4楼2010-05-04 19:30:16
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hqzhou0817

金虫 (著名写手)
wsm3000(金币+2): 2010-05-04 20:29:57
看这个方法可行否？在蒸氧化铝之前，先遮住镀铝的衬底一小部分，然后再蒸氧化铝，再用AFM或台阶仪测量其厚度
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海纳百川，有容乃大。壁立千仞，无欲则刚！
5楼2010-05-04 19:52:50
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tanshuidezhu

木虫 (小有名气)
wsm3000(金币+1): 2010-05-04 20:30:32
电镜，我测过。
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6楼2010-05-04 19:58:50
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jgzhaoshi

木虫 (小有名气)
wsm3000(金币+1): 2010-05-04 20:30:28
最简单的方法，SEM
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7楼2010-05-04 20:00:10
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wsm3000

金虫 (小有名气)
谢谢大家的回答。今天去做了SEM,(hitachi s -3400),分辨率根本达不到

至于AFM,我经常用AFM 测薄膜厚度，但是我觉得误差本身比我的氧化铝还大。在这里不本单位的台阶仪坏了n年了，没有人修

不知道SEM 4800能不能看出来
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8楼2010-05-04 20:33:53
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lovechem

木虫 (著名写手)
wsm3000(金币+2): 2010-05-05 10:28:57
SEM 4800 看不出来，我们的扫描就是这个型号，还是AFM，除非有人肯帮你超薄切片做高分辨透射
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9楼2010-05-04 21:08:52
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Dr.Sander

银虫 (小有名气)
wsm3000(金币+2): 2010-05-05 10:29:22
AFM百分之百能做出来，我做过。我都能测出1nm高的pillar array。来 至于误差，不存在问题。原子力的分辨率是0.3左右个nm。关键你台阶做得怎么样。
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10楼2010-05-04 21:21:07
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