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wsm3000

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】5nm左右的氧化铝薄膜怎么测厚度? 已有11人参与

在玻璃或者硅片上先蒸50nm的铝薄膜,再在上面做一层5nm左右的氧化铝。
请问:5nm怎么测检测其厚度更准确 一些?
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lovechem

木虫 (著名写手)

wsm3000(金币+2): 2010-05-05 10:28:57
SEM 4800 看不出来,我们的扫描就是这个型号,还是AFM,除非有人肯帮你超薄切片做高分辨透射
9楼2010-05-04 21:08:52
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lovechem

木虫 (著名写手)

wsm3000(金币+1): 2010-05-04 20:30:44
AFM or?如果可以部分暴露Al基地的话
2楼2010-05-04 19:10:50
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yznian

至尊木虫 (著名写手)

wsm3000(金币+1): 2010-05-04 20:30:14
最好的方法是将试样进行线切割 然后用高分辨SEM或者HRTEM即可,钱多用AFM也行,观察切割的截面
3楼2010-05-04 19:22:29
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mudannanzi

木虫 (正式写手)

wsm3000(金币+1): 2010-05-04 20:30:37
做电镜吧,其他的设备没这么高的分辨率
迷糊
4楼2010-05-04 19:30:16
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