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【求助】5nm左右的氧化铝薄膜怎么测厚度？ 已有11人参与
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在玻璃或者硅片上先蒸50nm的铝薄膜，再在上面做一层5nm左右的氧化铝。 请问：5nm怎么测检测其厚度更准确 一些？ |
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yznian
至尊木虫 (著名写手)
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3楼2010-05-04 19:22:29