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wsm3000

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】5nm左右的氧化铝薄膜怎么测厚度? 已有11人参与

在玻璃或者硅片上先蒸50nm的铝薄膜,再在上面做一层5nm左右的氧化铝。
请问:5nm怎么测检测其厚度更准确 一些?
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mudannanzi

木虫 (正式写手)

wsm3000(金币+1): 2010-05-04 20:30:37
做电镜吧,其他的设备没这么高的分辨率
迷糊
4楼2010-05-04 19:30:16
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lovechem

木虫 (著名写手)

wsm3000(金币+1): 2010-05-04 20:30:44
AFM or?如果可以部分暴露Al基地的话
2楼2010-05-04 19:10:50
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yznian

至尊木虫 (著名写手)

wsm3000(金币+1): 2010-05-04 20:30:14
最好的方法是将试样进行线切割 然后用高分辨SEM或者HRTEM即可,钱多用AFM也行,观察切割的截面
3楼2010-05-04 19:22:29
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hqzhou0817

金虫 (著名写手)

wsm3000(金币+2): 2010-05-04 20:29:57
看这个方法可行否?在蒸氧化铝之前,先遮住镀铝的衬底一小部分,然后再蒸氧化铝,再用AFM或台阶仪测量其厚度
海纳百川,有容乃大。壁立千仞,无欲则刚!
5楼2010-05-04 19:52:50
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