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【求助】5nm左右的氧化铝薄膜怎么测厚度?已有11人参与
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在玻璃或者硅片上先蒸50nm的铝薄膜,再在上面做一层5nm左右的氧化铝。 请问:5nm怎么测检测其厚度更准确 一些? |
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hqzhou0817
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5楼2010-05-04 19:52:50
lovechem
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yznian
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4楼2010-05-04 19:30:16













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