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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【求助】5nm左右的氧化铝薄膜怎么测厚度？
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郭进进

金虫 (小有名气)

Grace
最好是做个高分辨
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兴趣是最好的老师~
11楼2010-05-04 21:21:46
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lenny1123

最好的方法是用XRD
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12楼2010-07-09 09:05:35
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lenny1123

wsm3000(金币+1): 2010-07-10 22:04:49
引用回帖:
Originally posted by lenny1123 at 2010-07-09 09:05:35:
最好的方法是用XRD

该方法可以准确测出1nm-500nm的厚度，并且是无损测试
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13楼2010-07-09 09:06:45
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mmsabina

铁杆木虫 (正式写手)
wsm3000(金币+1): 2010-07-10 22:04:41
SEM 4800 完全可以看出的，2个nm我都看出来
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14楼2010-07-09 09:13:30
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