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【求助】5nm左右的氧化铝薄膜怎么测厚度？已有11人参与
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在玻璃或者硅片上先蒸50nm的铝薄膜，再在上面做一层5nm左右的氧化铝。 请问：5nm怎么测检测其厚度更准确 一些？ |
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10楼2010-05-04 21:21:07
lovechem
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2楼2010-05-04 19:10:50
yznian
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3楼2010-05-04 19:22:29
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4楼2010-05-04 19:30:16