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yjyang07

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】射频溅射Cu电极问题 已有4人参与

求助射频溅射Cu电极(要不要加热,背底真空度需要多少?会氧化吗?
,条件以及注意的事项?
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天行健,君子以自强不息~~~~~
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floljf

金虫 (正式写手)

yjyang07(金币+1): 2010-04-28 15:04
几点疑问:
1)既然选择了贵金属作为电极,为什么要选择铜了?不知道具体的应用环境,也就是其接触材料是什么?
2)既然是做金属电极,为什么要选择射频了?直流不是更好吗?
4楼2010-04-28 08:45:41
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