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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】射频溅射Cu电极问题
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yjyang07

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】射频溅射Cu电极问题 已有4人参与

求助射频溅射Cu电极（要不要加热，背底真空度需要多少？会氧化吗？
，条件以及注意的事项？
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天行健，君子以自强不息～～～～～
1楼 2010-04-26 17:46:42
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dreampursuer

金虫 (正式写手)
射频溅射加不加热都可以溅射，至于真空度要多少，则要看你的气体种类了。一般来说Ar起孤容易。气压在几个pa到十多个pa..至于氧化，你用空气做为气体吗？
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君子博学而日参醒乎己。
2楼2010-04-26 20:50:27
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yjyang07

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by dreampursuer at 2010-04-26 20:50:27:
射频溅射加不加热都可以溅射，至于真空度要多少，则要看你的气体种类了。一般来说Ar起孤容易。气压在几个pa到十多个pa..至于氧化，你用空气做为气体吗？

我用Ar做溅射气氛啊
Cu的活性不知道怎么样》容易和氧结合吗？
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天行健，君子以自强不息～～～～～
3楼2010-04-28 00:18:50
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floljf

金虫 (正式写手)
yjyang07(金币+1): 2010-04-28 15:04
几点疑问：
1）既然选择了贵金属作为电极，为什么要选择铜了？不知道具体的应用环境，也就是其接触材料是什么？
2）既然是做金属电极，为什么要选择射频了？直流不是更好吗？
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4楼2010-04-28 08:45:41
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yjyang07

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by floljf at 2010-04-28 08:45:41:
几点疑问：
1）既然选择了贵金属作为电极，为什么要选择铜了？不知道具体的应用环境，也就是其接触材料是什么？
2）既然是做金属电极，为什么要选择射频了？直流不是更好吗？

这些都是因为本实验室条件的限制。
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天行健，君子以自强不息～～～～～
5楼2010-04-28 15:04:00
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
yjyang07(金币+1): 2010-04-29 10:43
这样啊，背底真空越高越好，但是一般你的仪器有个极限，你只能达到那个极限了。

不要加热。没问题，很容易启辉。
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6楼2010-04-28 21:36:28
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