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yjyang07

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】射频溅射Cu电极问题 已有4人参与

求助射频溅射Cu电极(要不要加热,背底真空度需要多少?会氧化吗?
,条件以及注意的事项?
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天行健,君子以自强不息~~~~~
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dreampursuer

金虫 (正式写手)

射频溅射加不加热都可以溅射,至于真空度要多少,则要看你的气体种类了。一般来说Ar起孤容易。气压在几个pa到十多个pa..至于氧化,你用空气做为气体吗?
君子博学而日参醒乎己。
2楼2010-04-26 20:50:27
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yjyang07

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by dreampursuer at 2010-04-26 20:50:27:
射频溅射加不加热都可以溅射,至于真空度要多少,则要看你的气体种类了。一般来说Ar起孤容易。气压在几个pa到十多个pa..至于氧化,你用空气做为气体吗?

我用Ar做溅射气氛啊
Cu的活性不知道怎么样》容易和氧结合吗?
天行健,君子以自强不息~~~~~
3楼2010-04-28 00:18:50
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floljf

金虫 (正式写手)

yjyang07(金币+1): 2010-04-28 15:04
几点疑问:
1)既然选择了贵金属作为电极,为什么要选择铜了?不知道具体的应用环境,也就是其接触材料是什么?
2)既然是做金属电极,为什么要选择射频了?直流不是更好吗?
4楼2010-04-28 08:45:41
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yjyang07

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by floljf at 2010-04-28 08:45:41:
几点疑问:
1)既然选择了贵金属作为电极,为什么要选择铜了?不知道具体的应用环境,也就是其接触材料是什么?
2)既然是做金属电极,为什么要选择射频了?直流不是更好吗?

这些都是因为本实验室条件的限制。
天行健,君子以自强不息~~~~~
5楼2010-04-28 15:04:00
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

yjyang07(金币+1): 2010-04-29 10:43
这样啊,背底真空越高越好,但是一般你的仪器有个极限,你只能达到那个极限了。

不要加热。没问题,很容易启辉。
6楼2010-04-28 21:36:28
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