| 查看: 802 | 回复: 7 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者Luxiuyuan将赠送您 5 个金币 | ||
[求助]
磁控溅射
|
||
|
请问我在硅片上磁控溅射氧化物薄膜的时候，镀完膜之后，硅片上有彩色的圆圈是怎么回事，溅射气体用的氩气 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
山东大学晶体材料全国重点实验室招收锂金属电池负极材料博士一名
已经有28人回复
-
求助纳米氧化铝粉资源
已经有15人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有144人回复
-
HDPE粒子出现发黄的原因
已经有11人回复
-
太阳能界面蒸发协同发电
已经有2人回复
-
美国马里兰大学土木工程材料全奖博士招生
已经有26人回复
-
国家级高层次人才低维材料与器件力学团队招收博士研究生
已经有10人回复
-
南开大学杰青团队 招收理论计算方向 2026级博士生
已经有4人回复
-
关于水泵叶轮及密封环材料的工艺研究方向的论文投稿
已经有11人回复
-
中国科学院赣江创新研究院水下信息技术中心团队人才招聘
已经有0人回复
-
中国科学院赣江创新研究院水下信息技术中心人才招聘
已经有0人回复
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2022-11-10 14:02:29
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2022-11-10 14:04:08
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2022-11-10 14:05:13
5楼2022-11-12 08:09:14
|
你说得应该是背面吧，很正常的，溅射的并不是全部粒子沉积在硅片上，腔室壁上都有的，同理，只要背面不是完全贴在衬底架上就有粒子附着在上面形成彩色圆圈，彩色圆圈应该有梯度变化，这是附着在上面粒子含量不同导致。你可以用SEM验证一下表面彩色圆圈是不是你靶材元素 发自小木虫IOS客户端 |
6楼2022-11-15 23:24:38
xyr0125
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 711.9
- 散金: 5
- 帖子: 207
- 在线: 4.6小时
- 虫号: 27284571
- 注册: 2021-09-14
- 专业: 多相流热物理学
7楼2022-11-17 09:14:01
8楼2023-01-29 20:39:19