| 查看: 1228 | 回复: 7 | |||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者Luxiuyuan将赠送您 5 个金币 | |||
[求助]
磁控溅射
|
|||
|
请问我在硅片上磁控溅射氧化物薄膜的时候，镀完膜之后，硅片上有彩色的圆圈是怎么回事，溅射气体用的氩气 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
利用三维重构法对铁素体/马氏体双相钢内部微观结构的拓扑研究
已经有0人回复
-
高温原位观察多边形铁素体的相变
已经有0人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有208人回复
-
铝含量对铁素体耐热不锈钢在凝固过程中δ→γ 相变及M23C6相析出行为的影响
已经有0人回复
-
利用全自动逐层切片成像系统对铝镧合金进行分析
已经有0人回复
-
求助，如何处理多孔碳材料才能拍出分散好的粉末SEM照片？
已经有4人回复
-
高温原位观察高温合金的凝固枝晶生长过程
已经有0人回复
-
HRTEM/原位TEM/HRSTEM检测｜价格优·周期短·可加急
已经有0人回复
-
大家平时也可以交流下
已经有1人回复
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2022-11-10 14:02:29
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2022-11-10 14:04:08
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2022-11-10 14:05:13
5楼2022-11-12 08:09:14
|
你说得应该是背面吧，很正常的，溅射的并不是全部粒子沉积在硅片上，腔室壁上都有的，同理，只要背面不是完全贴在衬底架上就有粒子附着在上面形成彩色圆圈，彩色圆圈应该有梯度变化，这是附着在上面粒子含量不同导致。你可以用SEM验证一下表面彩色圆圈是不是你靶材元素 发自小木虫IOS客户端 |
6楼2022-11-15 23:24:38
xyr0125
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 711.9
- 散金: 5
- 帖子: 207
- 在线: 4.6小时
- 虫号: 27284571
- 注册: 2021-09-14
- 专业: 多相流热物理学
7楼2022-11-17 09:14:01
8楼2023-01-29 20:39:19
200