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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射
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Luxiuyuan

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射

请问我在硅片上磁控溅射氧化物薄膜的时候，镀完膜之后，硅片上有彩色的圆圈是怎么回事，溅射气体用的氩气

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1楼 2022-11-09 21:28:08
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hgxt3368

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2楼2022-11-10 14:02:29
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hgxt3368

禁虫 (正式写手)
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3楼2022-11-10 14:04:08
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hgxt3368

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4楼2022-11-10 14:05:13
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Luxiuyuan

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by hgxt3368 at 2022-11-10 14:02:29
基底没清洗干净

是硅片变了色吗？还是说薄膜是彩色的

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5楼2022-11-12 08:09:14
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这集结束

新虫 (初入文坛)
你说得应该是背面吧，很正常的，溅射的并不是全部粒子沉积在硅片上，腔室壁上都有的，同理，只要背面不是完全贴在衬底架上就有粒子附着在上面形成彩色圆圈，彩色圆圈应该有梯度变化，这是附着在上面粒子含量不同导致。你可以用SEM验证一下表面彩色圆圈是不是你靶材元素

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6楼2022-11-15 23:24:38
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xyr0125

新虫 (小有名气)
您好，请问您这里可以用磁控溅射镀膜吗
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7楼2022-11-17 09:14:01
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学员GUClJ2

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by hgxt3368 at 2022-11-10 14:05:13
一般都是仪器密闭性的问题

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8楼2023-01-29 20:39:19
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