| 查看: 910 | 回复: 7 | |||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者Luxiuyuan将赠送您 5 个金币 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
磁控溅射
|
|||
|
请问我在硅片上磁控溅射氧化物薄膜的时候，镀完膜之后，硅片上有彩色的圆圈是怎么回事，溅射气体用的氩气 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
一志愿中科大080500总分324求调剂
已经有6人回复
-
求调剂
已经有4人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有152人回复
-
陶瓷烧制出现黑点
已经有1人回复
-
一志愿北科266求调剂
已经有2人回复
-
上海科技大学材料器件中心合作导师科研成果速递
已经有0人回复
-
接收材料类调剂
已经有15人回复
-
上海交通大学材料学院李万万研究员招收2026年“申请-考核制”博士生一名
已经有31人回复
-
上海科技大学材料器件中心合作导师科研成果速递
已经有0人回复
-
【调剂申请】材料工程-总分255-本科材料化学专业-一志愿河北工业大学
已经有2人回复
-
293 材料工程求调剂
已经有3人回复
|
你说得应该是背面吧，很正常的，溅射的并不是全部粒子沉积在硅片上，腔室壁上都有的，同理，只要背面不是完全贴在衬底架上就有粒子附着在上面形成彩色圆圈，彩色圆圈应该有梯度变化，这是附着在上面粒子含量不同导致。你可以用SEM验证一下表面彩色圆圈是不是你靶材元素 发自小木虫IOS客户端 |
6楼2022-11-15 23:24:38
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2022-11-10 14:02:29
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2022-11-10 14:04:08
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2022-11-10 14:05:13
20