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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射
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Luxiuyuan

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射

请问我在硅片上磁控溅射氧化物薄膜的时候，镀完膜之后，硅片上有彩色的圆圈是怎么回事，溅射气体用的氩气

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1楼 2022-11-09 21:28:08
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hgxt3368

禁虫 (正式写手)
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3楼2022-11-10 14:04:08
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hgxt3368

禁虫 (正式写手)
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2楼2022-11-10 14:02:29
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hgxt3368

禁虫 (正式写手)
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4楼2022-11-10 14:05:13
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Luxiuyuan

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by hgxt3368 at 2022-11-10 14:02:29
基底没清洗干净

是硅片变了色吗？还是说薄膜是彩色的

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5楼2022-11-12 08:09:14
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