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磁控溅射
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请问我在硅片上磁控溅射氧化物薄膜的时候，镀完膜之后，硅片上有彩色的圆圈是怎么回事，溅射气体用的氩气 发自小木虫IOS客户端 |
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2楼2022-11-10 14:02:29
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3楼2022-11-10 14:04:08
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4楼2022-11-10 14:05:13
5楼2022-11-12 08:09:14
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你说得应该是背面吧，很正常的，溅射的并不是全部粒子沉积在硅片上，腔室壁上都有的，同理，只要背面不是完全贴在衬底架上就有粒子附着在上面形成彩色圆圈，彩色圆圈应该有梯度变化，这是附着在上面粒子含量不同导致。你可以用SEM验证一下表面彩色圆圈是不是你靶材元素 发自小木虫IOS客户端 |
6楼2022-11-15 23:24:38
xyr0125
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7楼2022-11-17 09:14:01
8楼2023-01-29 20:39:19