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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射
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Luxiuyuan

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射

请问我在硅片上磁控溅射氧化物薄膜的时候，镀完膜之后，硅片上有彩色的圆圈是怎么回事，溅射气体用的氩气

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1楼 2022-11-09 21:28:08
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学员GUClJ2

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by hgxt3368 at 2022-11-10 14:05:13
一般都是仪器密闭性的问题

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8楼2023-01-29 20:39:19
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hgxt3368

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
2楼2022-11-10 14:02:29
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hgxt3368

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
3楼2022-11-10 14:04:08
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hgxt3368

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
4楼2022-11-10 14:05:13
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查看全部 8 个回答
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