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当你当年

新虫 (正式写手)

[求助] GaAs衬底清洗已有2人参与

GaAs衬底清洗做LPCVD之前用什么清洗,求教清洗步骤!!!

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yswyx

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
GaAs不像硅一样容易被离子进行沾污,相对工艺窗口大一些。RCA的清洗方式是比较好的,后面再用氨水双氧水处理。也可以用络合了表面活性剂的碱液清洗。
最差的是有机溶剂清洗,因为一定会有有机沾污残留,进炉子以后,碳化就麻烦了。
4楼2019-07-16 15:39:25
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jhxg1919

新虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 当你当年 at 2019-07-16 15:36:10
你有做过类似的实验吗,能不能洗干净?...

一般来说GaAs衬底买过来应该是真空包装的,而且厂家进行净化间里面清洗过,可以直接使用,中间不要暴露空气很长时间,很容易生成自氧化层

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8楼2019-07-16 15:53:13
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jhxg1919

新虫 (著名写手)

2楼2019-07-16 12:40:32
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当你当年

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 12:40:32
有机清洗就可以吧

你有做过类似的实验吗,能不能洗干净?
3楼2019-07-16 15:36:10
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当你当年

新虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2019-07-16 15:39:25
GaAs不像硅一样容易被离子进行沾污,相对工艺窗口大一些。RCA的清洗方式是比较好的,后面再用氨水双氧水处理。也可以用络合了表面活性剂的碱液清洗。
最差的是有机溶剂清洗,因为一定会有有机沾污残留,进炉子以后 ...

RAC的话是什么顺序呢?因为一号液就是氨水加双氧水,所以有点不太明白。

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5楼2019-07-16 15:44:06
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jhxg1919

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有机清洗之后也要用DI水冲洗,酸碱清洗后会腐蚀GaAs表面,表面微结构形貌可能会改变,不知道对你是否有影响

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6楼2019-07-16 15:49:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
5楼: Originally posted by 当你当年 at 2019-07-16 15:44:06
RAC的话是什么顺序呢?因为一号液就是氨水加双氧水,所以有点不太明白。
...

RCA就是浓硫酸+双氧水
7楼2019-07-16 15:49:55
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引用回帖:
8楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 15:53:13
一般来说GaAs衬底买过来应该是真空包装的,而且厂家进行净化间里面清洗过,可以直接使用,中间不要暴露空气很长时间,很容易生成自氧化层
...

已经在室内暴露
9楼2019-07-16 16:18:31
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当你当年

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6楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 15:49:45
有机清洗之后也要用DI水冲洗,酸碱清洗后会腐蚀GaAs表面,表面微结构形貌可能会改变,不知道对你是否有影响

也打算选用有机洗,但是三楼说有机残留会碳化,有点担心。
10楼2019-07-16 16:19:45
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