[求助] GaAs衬底清洗已有2人参与

2楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 12:40:32
有机清洗就可以吧

4楼: Originally posted by yswyx at 2019-07-16 15:39:25
GaAs不像硅一样容易被离子进行沾污，相对工艺窗口大一些。RCA的清洗方式是比较好的，后面再用氨水双氧水处理。也可以用络合了表面活性剂的碱液清洗。
最差的是有机溶剂清洗，因为一定会有有机沾污残留，进炉子以后 ...

8楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 15:53:13
一般来说GaAs衬底买过来应该是真空包装的，而且厂家进行净化间里面清洗过，可以直接使用，中间不要暴露空气很长时间，很容易生成自氧化层
...

6楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 15:49:45
有机清洗之后也要用DI水冲洗，酸碱清洗后会腐蚀GaAs表面，表面微结构形貌可能会改变，不知道对你是否有影响