应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » GaAs衬底清洗
51/1返回列表
查看: 1490  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

当你当年

新虫 (正式写手)

[求助] GaAs衬底清洗 已有2人参与

GaAs衬底清洗做LPCVD之前用什么清洗，求教清洗步骤！！！

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2019-07-16 10:01:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

当你当年

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 12:40:32
有机清洗就可以吧

你有做过类似的实验吗，能不能洗干净？
赞一下 回复此楼
3楼2019-07-16 15:36:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

jhxg1919

新虫 (著名写手)
有机清洗就可以吧

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
2楼2019-07-16 12:40:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
GaAs不像硅一样容易被离子进行沾污，相对工艺窗口大一些。RCA的清洗方式是比较好的，后面再用氨水双氧水处理。也可以用络合了表面活性剂的碱液清洗。
最差的是有机溶剂清洗，因为一定会有有机沾污残留，进炉子以后，碳化就麻烦了。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2019-07-16 15:39:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

当你当年

新虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2019-07-16 15:39:25
GaAs不像硅一样容易被离子进行沾污，相对工艺窗口大一些。RCA的清洗方式是比较好的，后面再用氨水双氧水处理。也可以用络合了表面活性剂的碱液清洗。
最差的是有机溶剂清洗，因为一定会有有机沾污残留，进炉子以后 ...

RAC的话是什么顺序呢？因为一号液就是氨水加双氧水，所以有点不太明白。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2019-07-16 15:44:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703化学调剂，求各位老师收留 +6 秋有木北 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:18 by houyaoxu
[考研] 283求调剂 +5 小楼。 2026-03-12 8/400 2026-03-14 16:59 by 有只狸奴
[考研] 085701环境工程专硕求调剂 +9 幼稚园大班打手 2026-03-08 9/450 2026-03-14 04:17 by JourneyLucky
[考研] 26考研求调剂b区高校 +3 北陌追雪 2026-03-08 4/200 2026-03-14 03:47 by JourneyLucky
[考研] 308求调剂 +4 是Lupa啊 2026-03-09 4/200 2026-03-14 02:06 by tranquil_ya
[考研] 288求调剂 +14 王晓阳- 2026-03-09 19/950 2026-03-14 02:05 by JourneyLucky
[考研] 一志愿北京化工大学材料与化工296分求调剂 +16 稻妻小编 2026-03-09 18/900 2026-03-14 02:00 by JourneyLucky
[考研] 一志愿天津大学，英一数二305分求调剂，四六级已过 +8 小小番的茄 2026-03-09 8/400 2026-03-14 01:53 by JourneyLucky
[考研] 332求调剂 +3 zjy101327 2026-03-11 6/300 2026-03-13 22:48 by JourneyLucky
[考研] 311求调剂 +3 冬十三 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:41 by JourneyLucky
[硕博家园] 深圳大学硕士招生（2026秋，传感器方向，仅录取第一志愿） +4 xujiaoszu 2026-03-11 7/350 2026-03-13 17:28 by xujiaoszu
[考研] 求b区学校调剂 +3 周56 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:20 by JourneyLucky
[考研] 一志愿华中师范071000，325求调剂 +5 RuitingC 2026-03-12 5/250 2026-03-13 10:43 by hyswxzs
[考研] 求调剂 资源与环境 285 +3 未名考生 2026-03-10 3/150 2026-03-13 10:31 by houyaoxu
[考研] 283求调剂，材料、化工皆可 +8 苏打水7777 2026-03-11 10/500 2026-03-13 09:06 by Linda Hu
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +3 崔wj 2026-03-12 4/200 2026-03-12 19:33 by 求调剂zz
[考研] 0817化学工程319求调剂 +8 lv945 2026-03-08 10/500 2026-03-12 05:26 by wll0811
[考研] 290求调剂 +3 柯淮然 2026-03-10 8/400 2026-03-11 13:48 by 柯淮然
[考研] 083000环境科学与工程调剂 +8 mingmingry 2026-03-09 9/450 2026-03-11 10:23 by 沙漠之狐994
[教师之家] 交大前校长王树国：现在最先进的科技并不在大学实验室，而是在企业研究院 +4 zju2000 2026-03-08 6/300 2026-03-08 19:15 by zju2000
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭