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当你当年

新虫 (正式写手)

[求助] GaAs衬底清洗已有2人参与

GaAs衬底清洗做LPCVD之前用什么清洗,求教清洗步骤!!!

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jhxg1919

新虫 (著名写手)

2楼2019-07-16 12:40:32
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jhxg1919

新虫 (著名写手)

有机清洗之后也要用DI水冲洗,酸碱清洗后会腐蚀GaAs表面,表面微结构形貌可能会改变,不知道对你是否有影响

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6楼2019-07-16 15:49:45
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jhxg1919

新虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 当你当年 at 2019-07-16 15:36:10
你有做过类似的实验吗,能不能洗干净?...

一般来说GaAs衬底买过来应该是真空包装的,而且厂家进行净化间里面清洗过,可以直接使用,中间不要暴露空气很长时间,很容易生成自氧化层

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8楼2019-07-16 15:53:13
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jhxg1919

新虫 (著名写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by 当你当年 at 2019-07-16 16:19:45
也打算选用有机洗,但是三楼说有机残留会碳化,有点担心。...

了解,如果表面微结构不影响你试验的话,可以采用酸碱清洗流程,全面去除一层表面氧化层和有机物比较彻底了

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11楼2019-07-16 16:45:57
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