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当你当年

新虫 (正式写手)

[求助] GaAs衬底清洗已有2人参与

GaAs衬底清洗做LPCVD之前用什么清洗,求教清洗步骤!!!

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jhxg1919

新虫 (著名写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by 当你当年 at 2019-07-16 16:19:45
也打算选用有机洗,但是三楼说有机残留会碳化,有点担心。...

了解,如果表面微结构不影响你试验的话,可以采用酸碱清洗流程,全面去除一层表面氧化层和有机物比较彻底了

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11楼2019-07-16 16:45:57
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jhxg1919

新虫 (著名写手)

2楼2019-07-16 12:40:32
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当你当年

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 12:40:32
有机清洗就可以吧

你有做过类似的实验吗,能不能洗干净?
3楼2019-07-16 15:36:10
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
GaAs不像硅一样容易被离子进行沾污,相对工艺窗口大一些。RCA的清洗方式是比较好的,后面再用氨水双氧水处理。也可以用络合了表面活性剂的碱液清洗。
最差的是有机溶剂清洗,因为一定会有有机沾污残留,进炉子以后,碳化就麻烦了。
4楼2019-07-16 15:39:25
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