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当你当年

新虫 (正式写手)

[求助] GaAs衬底清洗 已有2人参与

GaAs衬底清洗做LPCVD之前用什么清洗，求教清洗步骤！！！

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1楼 2019-07-16 10:01:20
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
GaAs不像硅一样容易被离子进行沾污，相对工艺窗口大一些。RCA的清洗方式是比较好的，后面再用氨水双氧水处理。也可以用络合了表面活性剂的碱液清洗。
最差的是有机溶剂清洗，因为一定会有有机沾污残留，进炉子以后，碳化就麻烦了。
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4楼2019-07-16 15:39:25
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jhxg1919

新虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 当你当年 at 2019-07-16 15:36:10
你有做过类似的实验吗，能不能洗干净？...

一般来说GaAs衬底买过来应该是真空包装的，而且厂家进行净化间里面清洗过，可以直接使用，中间不要暴露空气很长时间，很容易生成自氧化层

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8楼2019-07-16 15:53:13
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普通回帖

jhxg1919

新虫 (著名写手)
有机清洗就可以吧

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2楼2019-07-16 12:40:32
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当你当年

新虫 (正式写手)
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2楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 12:40:32
有机清洗就可以吧

你有做过类似的实验吗，能不能洗干净？
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3楼2019-07-16 15:36:10
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当你当年

新虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2019-07-16 15:39:25
GaAs不像硅一样容易被离子进行沾污，相对工艺窗口大一些。RCA的清洗方式是比较好的，后面再用氨水双氧水处理。也可以用络合了表面活性剂的碱液清洗。
最差的是有机溶剂清洗，因为一定会有有机沾污残留，进炉子以后 ...

RAC的话是什么顺序呢？因为一号液就是氨水加双氧水，所以有点不太明白。

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5楼2019-07-16 15:44:06
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jhxg1919

新虫 (著名写手)
有机清洗之后也要用DI水冲洗，酸碱清洗后会腐蚀GaAs表面，表面微结构形貌可能会改变，不知道对你是否有影响

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6楼2019-07-16 15:49:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 当你当年 at 2019-07-16 15:44:06
RAC的话是什么顺序呢？因为一号液就是氨水加双氧水，所以有点不太明白。
...

RCA就是浓硫酸+双氧水
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7楼2019-07-16 15:49:55
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当你当年

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8楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 15:53:13
一般来说GaAs衬底买过来应该是真空包装的，而且厂家进行净化间里面清洗过，可以直接使用，中间不要暴露空气很长时间，很容易生成自氧化层
...

已经在室内暴露
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9楼2019-07-16 16:18:31
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当你当年

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6楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 15:49:45
有机清洗之后也要用DI水冲洗，酸碱清洗后会腐蚀GaAs表面，表面微结构形貌可能会改变，不知道对你是否有影响

也打算选用有机洗，但是三楼说有机残留会碳化，有点担心。
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10楼2019-07-16 16:19:45
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