应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » GaAs衬底清洗
51/1返回列表
查看: 1488  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

当你当年

新虫 (正式写手)

[求助] GaAs衬底清洗 已有2人参与

GaAs衬底清洗做LPCVD之前用什么清洗，求教清洗步骤！！！

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2019-07-16 10:01:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

当你当年

新虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 15:53:13
一般来说GaAs衬底买过来应该是真空包装的，而且厂家进行净化间里面清洗过，可以直接使用，中间不要暴露空气很长时间，很容易生成自氧化层
...

已经在室内暴露
回复此楼
9楼2019-07-16 16:18:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

jhxg1919

新虫 (著名写手)
有机清洗就可以吧

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
2楼2019-07-16 12:40:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

当你当年

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 12:40:32
有机清洗就可以吧

你有做过类似的实验吗，能不能洗干净？
赞一下 回复此楼
3楼2019-07-16 15:36:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
GaAs不像硅一样容易被离子进行沾污，相对工艺窗口大一些。RCA的清洗方式是比较好的，后面再用氨水双氧水处理。也可以用络合了表面活性剂的碱液清洗。
最差的是有机溶剂清洗，因为一定会有有机沾污残留，进炉子以后，碳化就麻烦了。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2019-07-16 15:39:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 308 085701 四六级已过求调剂 +5 温乔乔乔乔 2026-03-12 8/400 2026-03-12 16:48 by 温乔乔乔乔
[考研] 一志愿河海大学085900土木水利专硕279求调剂不挑专业 +4 SunWwWwWw 2026-03-10 7/350 2026-03-12 15:12 by Yy7400
[考研] 085701环境工程专硕求调剂 +8 幼稚园大班打手 2026-03-08 8/400 2026-03-12 15:12 by 每天只摆一小会
[基金申请] NSFC申报书里申请人简历中代表性论著还需要在申报书最后的附件里面再上传一遍吗 20+4 NSFC2026我来了 2026-03-10 11/550 2026-03-12 13:13 by NSFC2026我来了
[考研] 工科0856专硕化学工程269能调剂吗 +9 我想读研11 2026-03-10 9/450 2026-03-11 16:42 by 看开一点
[考研] 086000生物与医药319分求调剂 +4 Tolkien 2026-03-07 8/400 2026-03-10 21:34 by Tolkien
[考研] 调剂的同学，走过路过，不要错过 +11 likeihood 2026-03-06 16/800 2026-03-10 11:38 by Djdjj12
[考研] 085701环境工程295求调剂，一志愿A区211 +8 等春来， 2026-03-06 9/450 2026-03-10 10:38 by 沙漠之狐994
[硕博家园] 木虫好像不热闹了，是不是？ +4 偏振片 2026-03-10 4/200 2026-03-10 09:51 by longwave
[考研] 294 英二数二物化 求调剂 +6 米饭团不好吃 2026-03-09 6/300 2026-03-09 23:55 by barlinike
[考研] 310 070300化学求调剂 +4 扑风铃的猫 2026-03-08 5/250 2026-03-09 19:46 by 30660438
[考研] 一志愿南大化学339分求调剂，四六级已过，有比赛，有文章 +7 Gallantzhou 2026-03-07 7/350 2026-03-09 18:38 by 30660438
[考研] 307求调剂 +3 辛仁豆腐 2026-03-08 5/250 2026-03-09 14:09 by macy2011
[考研] 293一志愿华东理工 0817化学工程与技术 调剂 +5 fjj0912 2026-03-07 5/250 2026-03-09 09:13 by 30660438
[考研] 0817找调剂 +6 kk扛 2026-03-08 6/300 2026-03-09 06:38 by houyaoxu
[考研] 求调剂，一志愿江南大学，食品科学与工程，总分，320 +3 yyyyyukino 2026-03-07 3/150 2026-03-08 23:07 by 清风月
[考研] 334求调剂 +8 Trying] 2026-03-06 8/400 2026-03-08 14:51 by hmn_wj
[考研] 303求调剂 +8 forgman95 2026-03-05 10/500 2026-03-08 12:41 by 蓝莓都给你
[考研] 化学290求调剂 +3 两颗 西柚 2026-03-07 4/200 2026-03-07 20:55 by macy2011
[考研] 0307化学求调剂 +6 0ok0k 2026-03-07 6/300 2026-03-07 20:10 by pies112
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭