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当你当年

新虫 (正式写手)

[求助] GaAs衬底清洗已有2人参与

GaAs衬底清洗做LPCVD之前用什么清洗,求教清洗步骤!!!

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yswyx

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
GaAs不像硅一样容易被离子进行沾污,相对工艺窗口大一些。RCA的清洗方式是比较好的,后面再用氨水双氧水处理。也可以用络合了表面活性剂的碱液清洗。
最差的是有机溶剂清洗,因为一定会有有机沾污残留,进炉子以后,碳化就麻烦了。
4楼2019-07-16 15:39:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
5楼: Originally posted by 当你当年 at 2019-07-16 15:44:06
RAC的话是什么顺序呢?因为一号液就是氨水加双氧水,所以有点不太明白。
...

RCA就是浓硫酸+双氧水
7楼2019-07-16 15:49:55
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