应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » GaAs衬底清洗
51/1返回列表
查看: 1470  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

当你当年

新虫 (正式写手)

[求助] GaAs衬底清洗 已有2人参与

GaAs衬底清洗做LPCVD之前用什么清洗，求教清洗步骤！！！

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2019-07-16 10:01:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

当你当年

新虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 15:49:45
有机清洗之后也要用DI水冲洗，酸碱清洗后会腐蚀GaAs表面，表面微结构形貌可能会改变，不知道对你是否有影响

也打算选用有机洗，但是三楼说有机残留会碳化，有点担心。
赞一下 回复此楼
10楼2019-07-16 16:19:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

jhxg1919

新虫 (著名写手)
有机清洗就可以吧

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
2楼2019-07-16 12:40:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

当你当年

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jhxg1919 at 2019-07-16 12:40:32
有机清洗就可以吧

你有做过类似的实验吗，能不能洗干净？
赞一下 回复此楼
3楼2019-07-16 15:36:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
GaAs不像硅一样容易被离子进行沾污，相对工艺窗口大一些。RCA的清洗方式是比较好的，后面再用氨水双氧水处理。也可以用络合了表面活性剂的碱液清洗。
最差的是有机溶剂清洗，因为一定会有有机沾污残留，进炉子以后，碳化就麻烦了。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2019-07-16 15:39:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿南大化学339分求调剂，四六级已过，有比赛，有文章 +7 Gallantzhou 2026-03-07 7/350 2026-03-09 18:38 by 30660438
[考研] 0703求调剂 +10 c297914 2026-03-06 11/550 2026-03-09 18:37 by 30660438
[考研] 标题:捡漏预警|08工科/09农学调剂!英语要求低，过线即有机会! +3 马超放烟花 2026-03-07 3/150 2026-03-09 16:27 by 17862602468
[考研] 求调剂，数一英一274分 +4 小菲会努力 2026-03-08 4/200 2026-03-09 12:40 by 一定上岸哟_
[考研] 301求调剂 +5 一二LV 2026-03-07 5/250 2026-03-07 22:20 by 18137688336
[考研] 一志愿211 化学305分求调剂 +3 0703杨悦305分 2026-03-05 3/150 2026-03-07 21:15 by yinhuanshun
[考研] 材料调剂 +10 ounce. 2026-03-04 12/600 2026-03-07 09:14 by Mornach1988
[考研] 308求调剂 +7 倘若起风了呢 2026-03-05 9/450 2026-03-06 22:59 by 倘若起风了呢
[考研] 材料专硕290求调剂 +8 杰尼龟aaa 2026-03-04 8/400 2026-03-06 16:06 by @飒飒飒飒
[考研] 085600材料调剂 总分330 +6 池池丶 2026-03-03 6/300 2026-03-06 15:50 by @飒飒飒飒
[考研] 材料工程调剂 +6 zbcm_zbcm 2026-03-05 6/300 2026-03-06 15:36 by @飒飒飒飒
[考研] 求调剂 +5 danyyyy 2026-03-04 5/250 2026-03-06 08:16 by Leeding1356
[考研] 材料与化工，291，求调剂 +7 咕噜咕噜123123 2026-03-05 8/400 2026-03-05 20:08 by houyaoxu
[考研] 301求调剂 +4 李LJR 2026-03-04 4/200 2026-03-05 13:31 by Iveryant
[考研] 调剂材料学硕 +6 词凝Y 2026-03-02 6/300 2026-03-05 07:10 by 昆工985
[考研] 材料学硕080500复试调剂294 +3 四叶zjz 2026-03-04 3/150 2026-03-05 07:09 by kunm555
[考研] 085600 材料与化工 298 +14 小西笑嘻嘻 2026-03-03 14/700 2026-03-04 16:23 by sslc1985
[考研] 295求调剂 +6 等春来， 2026-03-04 6/300 2026-03-04 16:11 by zhukairuo
[考研] 347分电子信息专硕求调剂 +3 咕嘟咕嘟1 2026-03-03 3/150 2026-03-04 12:32 by 热情沙漠
[考研] 0856材料工程，初试313调剂 +7 卖个关子吧 2026-03-03 7/350 2026-03-03 21:33 by L135790
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭