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求助关于磁控溅射薄膜
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求助
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求助关于磁控溅射薄膜
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磁控溅射所用靶材测XRD生成我需要的BaBiO3.而溅射薄膜经过退火处理却测不出BaBiO3!怎么回事呢?功率密度30W
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1楼
2016-12-19 19:35:28
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8楼
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Originally posted by
kangye_1989
at 2016-12-20 17:06:14
羽辉有没有打到衬底上,拿出来的薄膜颜色是否均匀,能不能发个XRD的图片看一看,有没有非晶的衍射峰...
薄膜表面的颜色基本上均匀,有没有可能因为溅射功率太低了,加之bi元素熔点低了,导致其沉积问题
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9楼
2016-12-21 11:33:07
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专业: 凝聚态物性 II :电子结构
【答案】应助回帖
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你的意思是没有退火的薄膜能测到XRD,退过火的薄膜测不到XRD?
你没有退火的薄膜XRD信号强不强?退火的薄膜表面是否有挥发现象?
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ls1314521
2楼
2016-12-20 08:06:46
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2楼
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kangye_1989
at 2016-12-20 08:06:46
你的意思是没有退火的薄膜能测到XRD,退过火的薄膜测不到XRD?
你没有退火的薄膜XRD信号强不强?退火的薄膜表面是否有挥发现象?
靶材能测出,而薄膜测不出来BaBiO3成份,不知道怎么回事?
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3楼
2016-12-20 08:34:00
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3楼
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ls1314521
at 2016-12-20 08:34:00
靶材能测出,而薄膜测不出来BaBiO3成份,不知道怎么回事?
...
是不是薄膜太薄了
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4楼
2016-12-20 09:03:51
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