24小时热门版块排行榜    

查看: 1082  |  回复: 10
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

ls1314521

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助关于磁控溅射薄膜 已有1人参与

磁控溅射所用靶材测XRD生成我需要的BaBiO3.而溅射薄膜经过退火处理却测不出BaBiO3!怎么回事呢?功率密度30W

发自小木虫Android客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ls1314521

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-12-20 17:06:14
羽辉有没有打到衬底上,拿出来的薄膜颜色是否均匀,能不能发个XRD的图片看一看,有没有非晶的衍射峰...

薄膜表面的颜色基本上均匀,有没有可能因为溅射功率太低了,加之bi元素熔点低了,导致其沉积问题
求助关于磁控溅射薄膜



发自小木虫Android客户端
9楼2016-12-21 11:33:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你的意思是没有退火的薄膜能测到XRD,退过火的薄膜测不到XRD?
你没有退火的薄膜XRD信号强不强?退火的薄膜表面是否有挥发现象?

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2016-12-20 08:06:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ls1314521

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-12-20 08:06:46
你的意思是没有退火的薄膜能测到XRD,退过火的薄膜测不到XRD?
你没有退火的薄膜XRD信号强不强?退火的薄膜表面是否有挥发现象?

靶材能测出,而薄膜测不出来BaBiO3成份,不知道怎么回事?

发自小木虫Android客户端
3楼2016-12-20 08:34:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by ls1314521 at 2016-12-20 08:34:00
靶材能测出,而薄膜测不出来BaBiO3成份,不知道怎么回事?
...

是不是薄膜太薄了
4楼2016-12-20 09:03:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见