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ls1314521

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助关于磁控溅射薄膜 已有1人参与

磁控溅射所用靶材测XRD生成我需要的BaBiO3.而溅射薄膜经过退火处理却测不出BaBiO3!怎么回事呢?功率密度30W

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kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by ls1314521 at 2016-12-20 08:34:00
靶材能测出,而薄膜测不出来BaBiO3成份,不知道怎么回事?
...

是不是薄膜太薄了
4楼2016-12-20 09:03:51
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你的意思是没有退火的薄膜能测到XRD,退过火的薄膜测不到XRD?
你没有退火的薄膜XRD信号强不强?退火的薄膜表面是否有挥发现象?

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2楼2016-12-20 08:06:46
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ls1314521

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-12-20 08:06:46
你的意思是没有退火的薄膜能测到XRD,退过火的薄膜测不到XRD?
你没有退火的薄膜XRD信号强不强?退火的薄膜表面是否有挥发现象?

靶材能测出,而薄膜测不出来BaBiO3成份,不知道怎么回事?

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3楼2016-12-20 08:34:00
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by ls1314521 at 2016-12-20 08:34:00
靶材能测出,而薄膜测不出来BaBiO3成份,不知道怎么回事?
...

还有可能是薄膜没有结晶

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

5楼2016-12-20 09:04:19
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