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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助关于磁控溅射薄膜
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ls1314521

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助关于磁控溅射薄膜 已有1人参与

磁控溅射所用靶材测XRD生成我需要的BaBiO3.而溅射薄膜经过退火处理却测不出BaBiO3！怎么回事呢？功率密度30W

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1楼 2016-12-19 19:35:28
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你的意思是没有退火的薄膜能测到XRD，退过火的薄膜测不到XRD？
你没有退火的薄膜XRD信号强不强？退火的薄膜表面是否有挥发现象？
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ls1314521
2楼2016-12-20 08:06:46
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ls1314521

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
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2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-12-20 08:06:46
你的意思是没有退火的薄膜能测到XRD，退过火的薄膜测不到XRD？
你没有退火的薄膜XRD信号强不强？退火的薄膜表面是否有挥发现象？

靶材能测出，而薄膜测不出来BaBiO3成份，不知道怎么回事？

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3楼2016-12-20 08:34:00
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ls1314521 at 2016-12-20 08:34:00
靶材能测出，而薄膜测不出来BaBiO3成份，不知道怎么回事？
...

是不是薄膜太薄了
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4楼2016-12-20 09:03:51
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by ls1314521 at 2016-12-20 08:34:00
靶材能测出，而薄膜测不出来BaBiO3成份，不知道怎么回事？
...

还有可能是薄膜没有结晶
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ls1314521
5楼2016-12-20 09:04:19
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ls1314521

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-12-20 09:03:51
是不是薄膜太薄了...

功率30w，不过我渡了八个小时，有没有可能功率太低了

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6楼2016-12-20 09:40:17
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ls1314521

新虫 (初入文坛)
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5楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-12-20 09:04:19
还有可能是薄膜没有结晶...

应该结晶了，我只是没有测到BaBiO3的衍射峰，其他杂峰能测到！哎

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7楼2016-12-20 09:42:56
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by ls1314521 at 2016-12-20 09:42:56
应该结晶了，我只是没有测到BaBiO3的衍射峰，其他杂峰能测到！哎
...

羽辉有没有打到衬底上，拿出来的薄膜颜色是否均匀，能不能发个XRD的图片看一看，有没有非晶的衍射峰
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ls1314521
8楼2016-12-20 17:06:14
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ls1314521

新虫 (初入文坛)
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8楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-12-20 17:06:14
羽辉有没有打到衬底上，拿出来的薄膜颜色是否均匀，能不能发个XRD的图片看一看，有没有非晶的衍射峰...

薄膜表面的颜色基本上均匀，有没有可能因为溅射功率太低了，加之bi元素熔点低了，导致其沉积问题
求助关于磁控溅射薄膜



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9楼2016-12-21 11:33:07
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花生蛋

铜虫 (初入文坛)
正常xrd仪器   是不是测不出薄膜

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路漫漫 途条条
10楼2017-10-30 17:13:58
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