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ls1314521

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助关于磁控溅射薄膜 已有1人参与

磁控溅射所用靶材测XRD生成我需要的BaBiO3.而溅射薄膜经过退火处理却测不出BaBiO3!怎么回事呢?功率密度30W

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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你的意思是没有退火的薄膜能测到XRD,退过火的薄膜测不到XRD?
你没有退火的薄膜XRD信号强不强?退火的薄膜表面是否有挥发现象?

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2楼2016-12-20 08:06:46
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ls1314521

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-12-20 08:06:46
你的意思是没有退火的薄膜能测到XRD,退过火的薄膜测不到XRD?
你没有退火的薄膜XRD信号强不强?退火的薄膜表面是否有挥发现象?

靶材能测出,而薄膜测不出来BaBiO3成份,不知道怎么回事?

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3楼2016-12-20 08:34:00
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by ls1314521 at 2016-12-20 08:34:00
靶材能测出,而薄膜测不出来BaBiO3成份,不知道怎么回事?
...

是不是薄膜太薄了
4楼2016-12-20 09:03:51
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by ls1314521 at 2016-12-20 08:34:00
靶材能测出,而薄膜测不出来BaBiO3成份,不知道怎么回事?
...

还有可能是薄膜没有结晶

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5楼2016-12-20 09:04:19
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ls1314521

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-12-20 09:03:51
是不是薄膜太薄了...

功率30w,不过我渡了八个小时,有没有可能功率太低了

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6楼2016-12-20 09:40:17
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ls1314521

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-12-20 09:04:19
还有可能是薄膜没有结晶...

应该结晶了,我只是没有测到BaBiO3的衍射峰,其他杂峰能测到!哎

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7楼2016-12-20 09:42:56
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by ls1314521 at 2016-12-20 09:42:56
应该结晶了,我只是没有测到BaBiO3的衍射峰,其他杂峰能测到!哎
...

羽辉有没有打到衬底上,拿出来的薄膜颜色是否均匀,能不能发个XRD的图片看一看,有没有非晶的衍射峰

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

8楼2016-12-20 17:06:14
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ls1314521

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-12-20 17:06:14
羽辉有没有打到衬底上,拿出来的薄膜颜色是否均匀,能不能发个XRD的图片看一看,有没有非晶的衍射峰...

薄膜表面的颜色基本上均匀,有没有可能因为溅射功率太低了,加之bi元素熔点低了,导致其沉积问题
求助关于磁控溅射薄膜



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9楼2016-12-21 11:33:07
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花生蛋

铜虫 (初入文坛)

正常xrd仪器   是不是测不出薄膜

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路漫漫 途条条
10楼2017-10-30 17:13:58
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