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海风8380

[交流] 【求助】关于a-Al2O3和ZnO的溅射率

请教大家:a-Al2O3和ZnO的溅射率多大?
采用射频磁控溅射法制备a-Al2O3和ZnO薄膜,需要估计i制备一定厚度薄膜所需溅射时间.
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