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【求助】关于a-Al2O3和ZnO的溅射率
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请教大家：a-Al2O3和ZnO的溅射率多大? 采用射频磁控溅射法制备a-Al2O3和ZnO薄膜，需要估计i制备一定厚度薄膜所需溅射时间. |
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