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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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小学霸啊

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射法的溅射速率怎么确定? 已有4人参与

不同的材料表面沉积速率應該也有不同吧。这就使得用铝箔的称重法有疏漏,大家怎么想?
此外,有人质疑不同厚度的材料上的溅射速率也会不同,,比如在膜层厚5nm与10nm时真正的沉积速率也会不同,大家怎么看?
还有怎样确定最终多层膜各层厚度?用TEM?可是應該会有各层之间的扩散,怎么精确得知厚度呢?我们一起讨论吧~

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小学霸啊

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by youzoufeixu at 2016-11-05 16:38:17
一般用AFM或者台阶仪来测厚度

AFM是立体表面图吧。。能测具体每层厚度吗?有的层厚在埃级。。

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8楼2016-11-07 21:11:39
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reggiehu

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
扫描电镜看断面确定厚度,如果有怀疑扩散影响单层厚可以在旁边做一个单层同时溅射对比

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2楼2016-11-04 17:29:23
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小学霸啊

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by reggiehu at 2016-11-04 17:29:23
扫描电镜看断面确定厚度,如果有怀疑扩散影响单层厚可以在旁边做一个单层同时溅射对比

嗯,可以再想想。。

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3楼2016-11-04 19:09:33
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youzoufeixu

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
一般用AFM或者台阶仪来测厚度

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勤奋、思考
4楼2016-11-05 16:38:17
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