24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1496  |  回复: 12

小学霸啊

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射法的溅射速率怎么确定? 已有4人参与

不同的材料表面沉积速率應該也有不同吧。这就使得用铝箔的称重法有疏漏,大家怎么想?
此外,有人质疑不同厚度的材料上的溅射速率也会不同,,比如在膜层厚5nm与10nm时真正的沉积速率也会不同,大家怎么看?
还有怎样确定最终多层膜各层厚度?用TEM?可是應該会有各层之间的扩散,怎么精确得知厚度呢?我们一起讨论吧~

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

reggiehu

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
扫描电镜看断面确定厚度,如果有怀疑扩散影响单层厚可以在旁边做一个单层同时溅射对比

发自小木虫Android客户端
2楼2016-11-04 17:29:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

小学霸啊

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by reggiehu at 2016-11-04 17:29:23
扫描电镜看断面确定厚度,如果有怀疑扩散影响单层厚可以在旁边做一个单层同时溅射对比

嗯,可以再想想。。

发自小木虫Android客户端
3楼2016-11-04 19:09:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

youzoufeixu

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
一般用AFM或者台阶仪来测厚度

发自小木虫Android客户端
勤奋、思考
4楼2016-11-05 16:38:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

youzoufeixu

金虫 (小有名气)

不同材料肯定不一样呀,所以测的

发自小木虫Android客户端
勤奋、思考
5楼2016-11-05 16:38:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

强哥哥哥

新虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
做台阶,用白光测一下

发自小木虫Android客户端
6楼2016-11-07 15:14:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

smileendless

新虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不是有膜厚仪吗,速率厚度标定

发自小木虫Android客户端
7楼2016-11-07 16:22:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小学霸啊

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by youzoufeixu at 2016-11-05 16:38:17
一般用AFM或者台阶仪来测厚度

AFM是立体表面图吧。。能测具体每层厚度吗?有的层厚在埃级。。

发自小木虫Android客户端
8楼2016-11-07 21:11:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小学霸啊

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-11-07 15:14:28
做台阶,用白光测一下

谢谢,,我还没用过台阶仪呢

发自小木虫Android客户端
9楼2016-11-07 21:12:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小学霸啊

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by smileendless at 2016-11-07 16:22:19
不是有膜厚仪吗,速率厚度标定

好的。我了解下,谢谢

发自小木虫Android客户端
10楼2016-11-07 21:15:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 小学霸啊 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿武汉理工,总分321,英一数二,求老师收留。 +10 nnnnnnn5 2026-03-25 10/500 2026-03-29 11:42 by longlotian
[考研] 332求调剂 +4 @MZB382400 2026-03-28 4/200 2026-03-28 21:02 by 唐沐儿
[考研] 304求调剂 +6 曼殊2266 2026-03-27 6/300 2026-03-28 14:10 by 唐沐儿
[考研] 070300求调剂306分 +4 26要上岸 2026-03-27 4/200 2026-03-28 13:06 by 唐沐儿
[考研] 085600 286分 材料求调剂 +7 麻辣鱿鱼 2026-03-27 8/400 2026-03-28 12:17 by zllcz
[考研] 277跪求调剂 +5 1915668 2026-03-27 9/450 2026-03-28 09:58 by zhshch
[考研] 085701环境工程求调剂 +9 多久上课 2026-03-27 9/450 2026-03-28 03:58 by fmesaito
[考研] 298调剂 +3 jiyingjie123 2026-03-27 3/150 2026-03-27 11:57 by wxiongid
[考研] 342求调剂 +3 加油a李zs 2026-03-26 3/150 2026-03-27 00:29 by wxiongid
[考研] 调剂 +4 柚柚yoyo 2026-03-26 4/200 2026-03-26 20:43 by fmesaito
[考研] 0703化学求调剂 +3 丹青奶盖 2026-03-26 5/250 2026-03-26 20:11 by macy2011
[考研] 085601求调剂总分293英一数二 +4 钢铁大炮 2026-03-24 4/200 2026-03-26 16:28 by dick_runner
[考研] 化学调剂一志愿上海交通大学336分-本科上海211 +4 小鱼爱有机 2026-03-25 4/200 2026-03-26 10:19 by aa331100
[考研] 一志愿上海交大生物与医药专硕324分,求调剂 +6 jiajunX 2026-03-22 6/300 2026-03-25 23:05 by licg0208
[考研] 334分 一志愿武理-080500 材料求调剂 +4 李李不服输 2026-03-25 4/200 2026-03-25 21:26 by 星空星月
[考研] 0854电子信息求调剂 +7 α____ 2026-03-22 9/450 2026-03-25 13:37 by α____
[考研] 347求调剂 +4 L when 2026-03-25 4/200 2026-03-25 13:37 by cocolv
[考研] 086003食品工程求调剂 +6 淼淼111 2026-03-24 6/300 2026-03-25 10:29 by 3Strings
[考研] 335求调剂 +4 yuyu宇 2026-03-23 5/250 2026-03-23 23:49 by Txy@872106
[考研] 一志愿国科过程所081700,274求调剂 +3 三水研0水立方 2026-03-23 3/150 2026-03-23 23:11 by MajorWen
信息提示
请填处理意见