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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 磁控溅射法的溅射速率怎么确定？
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小学霸啊

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射法的溅射速率怎么确定？ 已有4人参与

不同的材料表面沉积速率應該也有不同吧。这就使得用铝箔的称重法有疏漏，大家怎么想？
此外，有人质疑不同厚度的材料上的溅射速率也会不同，，比如在膜层厚5nm与10nm时真正的沉积速率也会不同，大家怎么看？
还有怎样确定最终多层膜各层厚度？用TEM？可是應該会有各层之间的扩散，怎么精确得知厚度呢？我们一起讨论吧~

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1楼 2016-11-04 17:23:45
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reggiehu

木虫 (正式写手)
★
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扫描电镜看断面确定厚度，如果有怀疑扩散影响单层厚可以在旁边做一个单层同时溅射对比

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2楼2016-11-04 17:29:23
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小学霸啊

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by reggiehu at 2016-11-04 17:29:23
扫描电镜看断面确定厚度，如果有怀疑扩散影响单层厚可以在旁边做一个单层同时溅射对比

嗯，可以再想想。。

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3楼2016-11-04 19:09:33
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youzoufeixu

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般用AFM或者台阶仪来测厚度

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勤奋、思考
4楼2016-11-05 16:38:17
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youzoufeixu

金虫 (小有名气)
不同材料肯定不一样呀，所以测的

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勤奋、思考
5楼2016-11-05 16:38:54
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
做台阶，用白光测一下

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6楼2016-11-07 15:14:28
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smileendless

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不是有膜厚仪吗，速率厚度标定

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7楼2016-11-07 16:22:19
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小学霸啊

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by youzoufeixu at 2016-11-05 16:38:17
一般用AFM或者台阶仪来测厚度

AFM是立体表面图吧。。能测具体每层厚度吗？有的层厚在埃级。。

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8楼2016-11-07 21:11:39
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小学霸啊

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-11-07 15:14:28
做台阶，用白光测一下

谢谢，，我还没用过台阶仪呢

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9楼2016-11-07 21:12:34
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小学霸啊

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by smileendless at 2016-11-07 16:22:19
不是有膜厚仪吗，速率厚度标定

好的。我了解下，谢谢

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10楼2016-11-07 21:15:51
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