| 查看: 1465 | 回复: 12 | |||
[交流]
磁控溅射法的溅射速率怎么确定？ 已有4人参与
|
|||
|
不同的材料表面沉积速率應該也有不同吧。这就使得用铝箔的称重法有疏漏，大家怎么想？ 此外，有人质疑不同厚度的材料上的溅射速率也会不同，，比如在膜层厚5nm与10nm时真正的沉积速率也会不同，大家怎么看？ 还有怎样确定最终多层膜各层厚度？用TEM？可是應該会有各层之间的扩散，怎么精确得知厚度呢？我们一起讨论吧~ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
情人节自我反思：在爱情中有过遗憾吗？
已经有6人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 液态金属：一个全新工业的崛起
已经有15人回复
- 射频磁控溅射法制备MgO薄膜
已经有7人回复
- 磁控溅射涂层与电子速蒸镀速率比较
已经有1人回复
- 工业生产薄膜厚度的检测方法是什么啊？
已经有5人回复
- 用磁控溅射法制备TiO2薄膜的靶材问题，需要有文献支持！
已经有0人回复
reggiehu
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1879.9
- 红花: 2
- 帖子: 737
- 在线: 201.9小时
- 虫号: 1338210
- 注册: 2011-07-05
- 性别: GG
- 专业: 机械工程
2楼2016-11-04 17:29:23
3楼2016-11-04 19:09:33
youzoufeixu
金虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1033
- 帖子: 115
- 在线: 47.3小时
- 虫号: 2466358
- 注册: 2013-05-15
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2016-11-05 16:38:17
youzoufeixu
金虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1033
- 帖子: 115
- 在线: 47.3小时
- 虫号: 2466358
- 注册: 2013-05-15
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
5楼2016-11-05 16:38:54
强哥哥哥
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5858.8
- 散金: 25
- 红花: 19
- 帖子: 2374
- 在线: 136.3小时
- 虫号: 4127252
- 注册: 2015-10-08
- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
6楼2016-11-07 15:14:28
smileendless
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1844.9
- 散金: 527
- 红花: 4
- 帖子: 399
- 在线: 139.1小时
- 虫号: 4462096
- 注册: 2016-03-03
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
7楼2016-11-07 16:22:19
8楼2016-11-07 21:11:39
9楼2016-11-07 21:12:34
10楼2016-11-07 21:15:51
10