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磁控溅射法的溅射速率怎么确定？ 已有4人参与
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不同的材料表面沉积速率應該也有不同吧。这就使得用铝箔的称重法有疏漏，大家怎么想？ 此外，有人质疑不同厚度的材料上的溅射速率也会不同，，比如在膜层厚5nm与10nm时真正的沉积速率也会不同，大家怎么看？ 还有怎样确定最终多层膜各层厚度？用TEM？可是應該会有各层之间的扩散，怎么精确得知厚度呢？我们一起讨论吧~ 发自小木虫Android客户端 |
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