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贝壳摩尔

金虫 (小有名气)

[交流] 工业生产薄膜厚度的检测方法是什么啊？

很想了解下实际工业生产过程，例如磁控溅射镀膜，对于膜厚的控制和监测是用什么设备？难道是预先摸索工艺，然后按照沉积速率来监测吗？
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1楼 2013-04-06 11:16:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
贝壳摩尔: 金币+1, 感谢交流！ 2013-04-07 09:26:57
工业生产也要看什么工业生产了。镀膜的用途很多，适应的工业也很多，采用的检测方式也会完全不同。
以IC制造为例。金属膜的厚度检测一般是离线检测，工艺后测量。非金属膜有些是事后检测，有些是在线激光检测。IC制造领域的设备都极稳定，而且都是做重复工艺，一台设备就做这个工艺，做到设备报废都不一定换。摸索这个词用的不好，如果还是摸索，就不是工业了，那是实验室玩玩。
半导体行业很大，IC制造知识其中一部分，别的领域也有自己的规范和方法。
工业最关心的是一致性和可靠性，膜厚检测的重点的在这个方面，而不是在线或者离线。
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3楼2013-04-07 02:52:03
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贝壳摩尔

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-07 02:52:03
工业生产也要看什么工业生产了。镀膜的用途很多，适应的工业也很多，采用的检测方式也会完全不同。
以IC制造为例。金属膜的厚度检测一般是离线检测，工艺后测量。非金属膜有些是事后检测，有些是在线激光检测。IC制 ...

非常感谢，有机会能去生产线上看看就好了！事后检测的话，一般使用什么方法？台阶仪吗？
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4楼2013-04-07 09:26:40
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
贝壳摩尔: 金币+2, 非常感谢，明白了！ 2013-04-08 07:22:47
引用回帖:
4楼: Originally posted by 贝壳摩尔 at 2013-04-07 09:26:40
非常感谢，有机会能去生产线上看看就好了！事后检测的话，一般使用什么方法？台阶仪吗？...

椭偏，光学轮廓仪，激光测厚仪，XRD，晶振检测，一大堆。
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5楼2013-04-07 17:17:45
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hanqiuyu

银虫 (小有名气)
椭偏仪！
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6楼2013-04-09 09:21:42
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简单回复
夜冷冷2楼
2013-04-06 16:09   回复  
SE~
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