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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 【求助】氮化硅薄膜厚度
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happily

银虫 (小有名气)

[求助] 【求助】氮化硅薄膜厚度

刚接触半导体行业，想了解下关于氮化硅薄膜方面的信息。氮化硅薄膜可以作为内层介电绝缘膜、栅极绝缘层、非易失动态随机存储(DRAMs)的电荷存储层、抗蚀层、钝化保护膜、掩膜、封装材料、太阳能电池减反射膜等。想知道不同用途的薄膜厚度大概是多少?
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1楼 2013-02-28 22:36:12
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个太难说清楚了，说几天也说不清啊。
都是几百A到几微米吧，看应用的情况。
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2楼2013-03-01 00:00:21
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happily

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-01 00:00:21
这个太难说清楚了，说几天也说不清啊。
都是几百A到几微米吧，看应用的情况。

对，我就是想了解下不同应用情况下的氮化硅薄膜厚度，可以稍微具体介绍下吗
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3楼2013-03-01 08:57:22
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by happily at 2013-03-01 08:57:22
对，我就是想了解下不同应用情况下的氮化硅薄膜厚度，可以稍微具体介绍下吗...

这个真的稍微不了，题目太大了，应用的范围太广了
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4楼2013-03-01 19:27:19
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happily

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-01 19:27:19
这个真的稍微不了，题目太大了，应用的范围太广了...

哪些应用下氮化硅薄膜厚度在1nm-300nm呢？
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5楼2013-03-02 20:45:20
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
happily: 金币+10, ★★★很有帮助, 我比较小白，非常感谢！ 2013-03-09 17:25:20
引用回帖:
5楼: Originally posted by happily at 2013-03-02 20:45:20
哪些应用下氮化硅薄膜厚度在1nm-300nm呢？...

你上面提到的应用都有可能。
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6楼2013-03-04 17:39:39
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