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happily银虫 (小有名气)
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【求助】氮化硅薄膜厚度
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| 刚接触半导体行业，想了解下关于氮化硅薄膜方面的信息。氮化硅薄膜可以作为内层介电绝缘膜、栅极绝缘层、非易失动态随机存储(DRAMs)的电荷存储层、抗蚀层、钝化保护膜、掩膜、封装材料、太阳能电池减反射膜等。想知道不同用途的薄膜厚度大概是多少? |
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5楼2013-03-02 20:45:20
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