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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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happily

银虫 (小有名气)

[求助] 【求助】氮化硅薄膜厚度

刚接触半导体行业,想了解下关于氮化硅薄膜方面的信息。氮化硅薄膜可以作为内层介电绝缘膜、栅极绝缘层、非易失动态随机存储(DRAMs)的电荷存储层、抗蚀层、钝化保护膜、掩膜、封装材料、太阳能电池减反射膜等。想知道不同用途的薄膜厚度大概是多少?
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happily

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-01 00:00:21
这个太难说清楚了,说几天也说不清啊。
都是几百A到几微米吧,看应用的情况。

对,我就是想了解下不同应用情况下的氮化硅薄膜厚度,可以稍微具体介绍下吗
3楼2013-03-01 08:57:22
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个太难说清楚了,说几天也说不清啊。
都是几百A到几微米吧,看应用的情况。
2楼2013-03-01 00:00:21
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by happily at 2013-03-01 08:57:22
对,我就是想了解下不同应用情况下的氮化硅薄膜厚度,可以稍微具体介绍下吗...

这个真的稍微不了,题目太大了,应用的范围太广了
4楼2013-03-01 19:27:19
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happily

银虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-01 19:27:19
这个真的稍微不了,题目太大了,应用的范围太广了...

哪些应用下氮化硅薄膜厚度在1nm-300nm呢?
5楼2013-03-02 20:45:20
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