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磁控溅射法的溅射速率怎么确定? 已有4人参与
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不同的材料表面沉积速率應該也有不同吧。这就使得用铝箔的称重法有疏漏,大家怎么想? 此外,有人质疑不同厚度的材料上的溅射速率也会不同,,比如在膜层厚5nm与10nm时真正的沉积速率也会不同,大家怎么看? 还有怎样确定最终多层膜各层厚度?用TEM?可是應該会有各层之间的扩散,怎么精确得知厚度呢?我们一起讨论吧~ 发自小木虫Android客户端 |
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youzoufeixu
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4楼2016-11-05 16:38:17
reggiehu
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youzoufeixu
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5楼2016-11-05 16:38:54













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