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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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df1990

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射仪器求助 已有1人参与

磁控溅射镀膜仪更换真空计之后,仪器抽真空速度显著下降,以前只需要2-3小时现在要8个钟头。仪器检漏未查到问题,求大神解救
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生命是一场无限的蜕变
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df1990

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by chennn at 2016-07-22 17:09:03
换回原来的真空计呢

原来的真空计坏掉了,就寄回厂家维修。维修之后就出现了高真空抽的慢的情况
生命是一场无限的蜕变
3楼2016-07-22 17:53:31
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chennn

木虫 (小有名气)

2楼2016-07-22 17:09:03
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海幻666888

金虫 (正式写手)

真空计是哪个厂家的,是否校准过?

发自小木虫Android客户端
4楼2016-07-23 05:52:33
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chennn

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by df1990 at 2016-07-22 17:53:31
原来的真空计坏掉了,就寄回厂家维修。维修之后就出现了高真空抽的慢的情况...

真空计常用的就,电阻规,电离规,坏了就直接换根新的,价格便宜,一般情况下是真空计原因,设备不可能突然间漏气。抽得慢也抽的了高真空?
5楼2016-07-23 08:25:21
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