| 查看: 1923 | 回复: 5 | ||
[求助]
BaTiO3 磁控溅射 怎么样才能得到结晶薄膜 求指导
|
|
各位大神好！最近刚刚接触磁控溅射。。。想做钛酸钡的溅射。但是总是得到非晶膜。 第一次均在衬底是室温下溅射的，得到的都是非晶薄膜，700-900°C退火以后一堆杂峰。 第二次做之前查阅了一下文献，发现需要在衬底高温下进行溅射。于是调整工艺参数。 条件如下： 仪器 PVD Products 靶材 3 inch， 也就是7.5 cm直径， 功率 70W， 算的功率密度约为1.59W/cm2 气氛 Ar/O2 4:1 (流速20sccm：5sccm) 气压试过5mTorr 和15mTorr； 衬底用的Si/5 nm Cr/30 nm Pt，衬底温度设定700 实际温度为660，升温速度25/min, 降温15/min 靶到衬底的距离为12cm 溅射1.5小时得到45nm左右厚的薄膜，即是说大约为0.5 nm/min。 溅射出来的，仍然是非晶。 800下快速退火，得到的XRD跟第一次室温溅射后退火的XRD一样。。。貌似有一点钛酸钡但是大部分都是不知道什么归属的杂峰，且杂峰为主。。。 盼望有经验的大神挑一下到底是什么毛病，指导一下 XRD请看附图 我同时还尝试溅射了钴铁氧。室温下溅射得到的非晶，退火后乱七八糟。但是衬底升温至350℃时就得到了钴铁氧的结晶薄膜了。钴铁氧的溅射条件中，只有气氛和温度不一样，其他均一样。用的是纯氩气。条件是： 靶材 3 inch， 功率 70W， 算的功率密度约为1.59W/cm2 气氛 Ar (流速20sccm) 气压 5mTorr； 衬底用的Si/5 nm Cr/30 nm Pt，衬底温度350-650 靶到衬底的距离为12cm 溅射1.5小时得到60nm左右厚的薄膜。 同样是溅射 差距咋这么大呢  求助BaTiO3.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
能否退出参与的面上项目解除限项
已经有15人回复
-
2026国自然函评费到账
已经有18人回复
-
建议基金发布提前给出明确的时间点
已经有15人回复
-
范进中举一文的中心思想
已经有7人回复
-
朋友圈看到的
已经有9人回复
-
让我中一个面上吧！
已经有16人回复
-
放榜前的不淡定
已经有17人回复
-
科研孤儿太难了
已经有19人回复
-
明天应该可查了！？
已经有4人回复
-
什么时候开奖？
已经有11人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射的薄膜XRD测试没有结晶，退火处理是否可以使其晶化？
已经有12人回复
- 陶瓷靶材开裂怎么破？？？？
已经有27人回复
2楼2014-07-18 21:18:54
3楼2014-07-24 04:44:26
4楼2016-06-20 21:38:40
5楼2017-10-26 20:17:09
长_青
木虫 (知名作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2319.7
- 散金: 498
- 红花: 73
- 沙发: 2
- 帖子: 9774
- 在线: 3204.7小时
- 虫号: 4235117
- 注册: 2015-11-21
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
6楼2017-10-31 16:42:33
20